佐藤真空株式会社 用于石墨烯开发的小型热CVD设备SFCV系列

该机器已实现小型化，可以通过简单的操作生产小批量、小尺寸的试件，同时
显着降低成本。
此外，它还配备了5至100Pa的压力控制功能，这在传统小型机型中是难以实现的，
从而可以应对更广泛的加工模式。
此外，对于碳氢化合物类可燃气体，
我们还配备了报警检测以关闭设备和大气释放气体稀释装置等安全装置。
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基本信息用于石墨烯开发的小型热CVD设备SFCV系列

[特点]
○小型
○实现降低成本
○适合各种加工模式
○配备安全装置

[主要规格]
○炉芯管
→ 透明石英管（加热温度 100 至 1000℃）
→ 氧化铝管（加热温度 1000 至 1000℃） ) 1400℃)
○反应气体供给：2～60sccm
→（氢气、甲烷、乙烷、乙烯、乙炔、苯等）
○压力控制：5～100Pa
○向大气中释放可燃气体的措施
→用空气带入使用喷射器排出低于易燃混合物范围的混合物 稀释废气

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