SATOVAC佐藤真空HSV-3-30G/HSV-8-50/HSV-12-80真空蒸镀装置
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- SATOVAC佐藤真空HSV-3-30G/HSV-8-50/HSV-12-80真空蒸镀装置
- SATOVAC佐藤真空
- HSV-3-30G/HSV-8-50/HSV-12-80
- 日本
- 现货
产品详细介绍
HSV-3-30G/HSV-8-50/HSV-12-80
■本系列是用于研发、小批量生产的小型电阻加热式蒸镀装置。此外，该系列中的某些型号还可配备电子束 (EB)。
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主要规格
| 型式 | HSV-3-30G | HSV-8-50 | HSV-12-80 | ||
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| 到达圧力 | ×10 -3 Pa | ×10 -4 Pa | |||
| 基板加热温度 | - | Max 300℃ | |||
| 蒸発源（电极） | 2対10V Max150A | 2対20V Max200A | |||
| バルブ操作 | 手动 | 自动 | 手动 | 自动 | 手动 |
| 真空槽 | φ300×H300mm 透明ガラス |
φ500×H500mm（水冷式） SUS 304 |
φ800×H700mm（水冷式）/前扉式 SUS 304 |
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| 回転机构 | - | 公転机构 | 自公転机构 | ||
| 内部机构 | シャッター机构、抵抗加热机构 | シャッター机构，加热ヒーター,抵抗加热机构 | |||
| 主ポンプ | 油拡散3inches | 油拡散8inches | 油拡散12inches又はクライオ | ||
| 补助ポンプ | 150L/min | 500L/min | 1500L/min | ||
| 主バルブ | 3inches | 8inches | 12inches | ||